乾式電漿蝕刻解決方案-Surface Activation／ Surface Modification（表面活化／表面改質）

Surface Activation／ Surface Modification（表面活化／表面改質）是利用電漿技術使材料表面發生化學反應，進而改善材料表面特性的一種方法。例如增加材料表面附著力時，即是以電漿解離產生的帶電離子轟擊材料表面，並使表層的分子結構發生改變，從而增加表面附著力和親和力。