無導線電鍍金技術 Non Plating Line

無導線電鍍金技術(Non Plating Line;NPL)提供了一種不需要在載板的表面佈設電鍍用導線,即可以對載板邊緣的接觸墊(Pad)進行電鍍鎳金的設計。其主要以導電膜作為電流傳導路徑以導通載板上的各接觸墊,進而對其進行電鍍鎳金的工藝與結構,可大幅度減少因電鍍導線的佈設而造成的影響。

應用說明

  無導線電鍍金技術(Non Plating Line;NPL)或稱鍍薄銅應用,提供了一種無需在基板的表面佈設電鍍用導線,即可以選擇性地對基板邊緣的接觸墊(Pad)進行電鍍鎳金的設計。其主要以導電膜作為電流傳導路徑以導通基板上的各接觸墊,進而對其電鍍鎳金的工藝與結構。

採用NPL製程的電路配置,因無需在基板的表面另外佈設電鍍導線,能有效減少基板尺寸及導線材料,除了更利於電路佈局,也避免於高頻使用時,因多餘電鍍導線而造成的雜訊,藉此能有較佳的性能表現。

參考全懋電子(於2009年合併入欣興電子)於其NPL相關專利中的描述,其流程大致如下:

   

 

對此,凌嘉科技有自主的智慧財產權,並掌握關鍵製程技術,例如:鍍膜附著力、鍍膜均勻性、側邊膜厚、鍍膜阻值、待鍍物表面溫度控制、Cpk、UPH、靶材利用率、選擇性蝕刻、蝕刻均勻性等。進一步還能整合前後段製程,藉此以掌握製程參數特性,並提供優異的加工表現及穩定的再現性。凌嘉科技對於前述製程驗證有豐富的智慧財產權,並擁有合格且高精密度的實驗室能進行樣品的測試,能協同客戶進行製程開發及實驗驗證。

凌嘉特色

專注於Sputter及Etching技術,掌握RDL的關鍵能力