Mini LED/Micro LED 電漿蝕刻解決方案 Mini LED/Micro LED Plasma Etching Solution

新型顯示器產業因逐步結合AI、IoT、大數據雲端運算等智慧科技,進而推動次世代顯示器( Mini LED/Micro LED Display)帶來更多元的應用與跨產業發展。其需求已逐漸從過去的消費型電子產品逐漸轉往智慧車用、娛樂等相關智慧場域應用,驅使產業從產能擴充轉往新技術研發創新及價值整合的發展。
凌嘉科技提供次世代顯示器的電漿蝕刻方案,於生產中可有效避免晶粒破壞同時滿足產品功能性、可靠性等要求。

應用說明

  面板顯示器技術的演化,從360p、1080p演進至UHD、4K,再到現今的8K高解析時代。伴隨著消費型顯示器的尺寸大型化,及終端應用對於高解析度、輕薄化、高動態的需求逐步提升,顯示技術也從傳統以背光源搭配液晶控制的方式,逐漸走向自主發光源的開發,而各類顯示技術也因亮度、對比度、能耗、使用壽命、成本…等性能優劣勢上,各佔有一席之地,其中近年相對主流的有機發光二極體(Organic Light-Emitting Diode;OLED) 、次毫米發光二極體(Mini LED)、微發光二極體(Micro LED)也因此應運而生。

LED 是「發光二極體」(Light-emitting Diode)的簡稱,是可以將電能轉為光能的電子元件,並能依照使用材料的不同,而產生不同波長的光。直顯式的 LED 常用於戶外電視牆或者紅綠燈。此外,LED亦廣泛用於液晶螢幕的背光源與照明燈具等用途。

Mini LED 則被視為 Micro LED 的過渡期,是傳統 LED 背光基礎上的改良版本,作為 LCD 面板的背光源使用,甚至也有顯示屏逐步導入RGB Mini LED。Micro LED 的用途則不僅限於背光源,因為 Micro LED 的晶粒已達肉眼難以分辨的等級,可以直接將 R、G、B 三原色的晶粒拼成一個像素點,不再需要濾光片和液晶層,因此Micro LED被業界視為次世代的顯示技術。

LED產業鏈中,各顯示器技術採用之封裝製程皆有所不同,以凌嘉電漿清潔設備為例 :
在LED封裝技術中,Wire bonding前、Molding前以及Under-fill點膠前的電漿清潔,能有效清潔基板表面氧化物,活化表面能,以提升封裝可靠度。在Mini/Micro LED的R、G、B直接顯示技術中,電漿對於Molding固晶後的表面殘留物清潔,能有效提升顯示螢幕之亮度。在Micro LED巨量轉移過程中,採用高階電漿蝕刻技術(ICP-RIE),對轉移良率、信賴性都有效提升。

   

 

對此,凌嘉科技有自主的智慧財產權,有豐富的製程開發經驗,且能協同客戶進行製程開發及實驗驗證,除了可以提供研發階段於不同製程配方下的打樣服務之外,亦擁有合格且高精密度的實驗室能進行樣品的測試。

凌嘉特色

Micro LED/Mini LED 高階電漿應用