乾式電漿蝕刻解決方案 -Surface Cleaning／Metal Oxide Reduction（表面清潔／去除氧化層）

將材料置於真空腔體內，再以電漿解離產生的帶電離子（如Ar+）撞擊表面上的污染物或氧化層，將其從材料表面剝離後，再
透過真空泵浦抽出，達到材料表面清潔或去除氧化層的目的。